カスタマイズBefore-After
ロータリー平研を円筒研削盤へ
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- ベースマシンYGS-20
- テーブル移動型ロータリー研削盤をベースにして、テーブルスライド軸をボールネジ送りに
- 砥石Headを自動上下往復運動型に改造
- 砥石軸上下往復駆動、テーブルスライド駆動共にサーボモーターに置き換えマグネットチャックを廃止してスクロールチャックに
これらの改造により平面研削盤が高能率円板外周加工機に変身
古いコンセプトのロータリー研削盤を高精度基板加工用ハイテク機に
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- ベースマシンSPG-300
- 砥石切込スライドをターカイトにして、高精度切込み(0.001~75mm/min)を可能に
- マグネットチャックを停止して、真空チャック/ポーラスチャック併用型に
- 研削スピンドルベアリング構造の改良により高剛性,高速回転を可能に
ガラス・セラミックス基板の高精度、鏡面加工を可能にしました
平面研削盤をセラミックパイプ切断機に
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旧式の600×300型の平面研削盤をベースに上部切り込みハンドルを取り外し、コラム下部に自動切込モーターを仕込み、φ400カッターでSINの長尺パイプの切断を行います。テーブル往復動をさせながらとテーブル動作停止しての2パターンの切断モードを選択出来ます。当然、砥石の切込位置制御はリニアスケールカウンターにより、任意に行えます。
コンターマシンをインゴット切断機に
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金属切断用のコンターマシンを流用して、ダイヤモンドバンドを取り付けてシリコンインゴットの荒切断を行います。
この為に、ダイヤモンド電着バンド駆動スピンドルを高速回転型に差しかえ、バンド,テンション用にエアーシリンダー、ロードセルを追加し、本体剛性UPの為の補助部材を貼り付け、細部に渡る湿式加工対策、バンド支持の為の静圧パットの追加をしております。

















